0001名無しさん必死だな
2020/06/22(月) 22:53:03.70ID:ClA4vKCu0韓国東部の栄州(ヨンジュ)市の工場で量産を開始した。SKマテリアルズによると、量産を実現したフッ化水素ガスの純度は99.999%で「ファイブナイン」と呼ぶ純度。
日本の素材メーカーが輸出してきた9が11個並ぶ超高純度の「イレブンナイン」と比べて品質は劣るものの、半導体ウエハーの洗浄など生産工程の一部で導入が始まったとしている。
日本製フッ化水素 イレブンナイン
純度99.999999999%
韓国製フッ化水素 ファイブナイン
純度99.999%
日経新聞 2020/6/17 15:00
https://www.nikkei.com/article/DGXMZO60442800X10C20A6FFE000/